日本三丰542-715 LGH-1010-B-EH激光全息光栅式测微仪

发布时间：2025年6月18日

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542 系列激光全息光栅式测微仪

测微头测微头542-715

LGH-1010-B-EH

542-720

LGH-0510-B-EH

542-715 (标准型) 542-716 (低测力型)

型号LGH-1010-B-EH LGH-1010C-B-EH

测量范围10mm

分辨力0.01μm (0.05μm, 0.1μm, 0.5μm, 1μm 用计数器可切换)

指示精度(20?C)*1 0.2μm

重复精度(20?C)*1 0.1μm (2σ)

量化误差(20?C)*1 0.1μm

测力542-716

测杆朝下0.65N 以下约0.12N

测杆水平0.55N 以下不可使用

产品种类

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LGH-1010-B-EH分辨率（µm）：0.01

LGH-1010C-B-EH分辨率（µm）：0.01

LGH-0510-B-EH分辨率（µm）：0.005

LGH-0510C-B-EH分辨率（µm）：0.005

在10mm的宽范围内，实现与激光干涉仪相当的0.005μm或0.01μm的高分辨率和高精度。

紧凑的机身对装置本身的小型化做出了很大的贡献，不仅适用于测量高精度零件、作为高精度定位和控制装置的长度测量传感器，而且也适用于作为测量仪器的标准规。

另备有低测量力规格：可根据用途选择低测量力规格，从而可测量易变形的工件和高性能薄膜。

LGH系列是一套带有专用计数器的套装。

全新采用光电反射线性
配备编码器，分辨率高达0.01μm。
以低价格实现了宽范围的分辨率、0.2μm的指示精度、10mm的测量范围。

与以往产品相比，响应速度提高了2.8倍（250mm/s～700mm/s），实现了高精度与高速化的并存。